臭氧属于有害气体，浓度为 6.25×10-6mol/L（0.3mg/L） 时，对眼、鼻、喉有刺激的感觉；浓度 （6.25-62.5）×10 -5 mol/L（3 ～ 30mg/L） 时，出现头疼及呼吸器官局部麻痹等症 ; 臭氧浓度为 3.125×10 -4 ～ 1.25×10 -3 mol/L（15 ～ 60mg/L）时 ， 则对人体有危害。
其毒性还和接触时间有关，例如长期接触 1.748×10 -7 mol/L（4ppm） 以下的臭氧会引起永久性心脏障碍，但接触 20ppm 以下的臭氧不超过 2h ，对人体无永久性危害。
因此，臭氧浓度的允许值定为 4.46×10 -9 mol/L（0.1ppm）8h. 由于臭氧的臭味很浓，浓度为 4.46×10 -9 mol/L（0.1ppm） 时，人们就感觉到，因此，世界上使用臭氧已有一百多年的历史，至今也没有发现一例因臭氧中毒而导致死亡的报道。
臭氧具有很强的氧化性，除了金和铂外，臭氧化空气几乎对所有的金属都有腐蚀作用。
铝、锌、铅与臭氧接触会被强烈氧化，但含铬铁合金基本上不受臭氧腐蚀。
基于这一点，生产上常使用含 25% Cr的铬铁合金（不锈钢）来制造臭氧发生设备和加注设备中与臭氧直接接触的部件。
臭氧对非金属材料也有了强烈的腐蚀作用，即使在别处使用得相当稳定得聚氯乙烯塑料滤板等，在臭氧加注设备中使用不久便见疏松、开裂和穿孔。
在臭氧发生设备和计量设备中，不能用普通橡胶作密封材料，必须采用耐腐蚀能力强的硅橡胶或耐酸橡胶等。
近地面高浓度的臭氧会刺激和损害眼睛、呼吸系统等黏膜组织，对人体健康产生负面作用。
专家表示，从长期观测来看，尽管臭氧超标集中在日照充足的4月至9月，但结合国外治理经验，随着全国对PM2.5治理力度加大，空气能见度提高，臭氧超标发生的概率会不断增加，而且臭氧污染治理会比PM2.5治理的难度更大
1. 臭氧很不稳定，在常温下慢慢分解 ，200℃时迅速分解 ，它比氧的氧化性更强，能将金属银氧化为过氧化银，将硫化铅氧化为硫酸铅，它还能氧化有机化合物，使许多有机色素脱色，如靛蓝。能侵蚀橡胶，很容易氧化有机不饱和化合物。臭氧、氯和过氧化氢的氧化势（还原电位）分别是2.07.1.36.1.28伏特，可见臭氧在处理水中是氧化力量最强的一种。臭氧的氧化作用导致不饱和的有机分子的破裂。使臭氧分子结合在有机分子的双键上，生成臭氧化物。臭氧化物的自发性分裂产生一个羧基化合物和带有酸性和碱性基的两性离子，后者是不稳定的，可分解成酸和醛。其反应式为：
2O3→3O2 + 285kJ （ 1-2 ）
由于分解时放出大量热量，故当其含量在 25 %以上时，很容易爆炸。
但一般臭氧在空气中，臭氧的含量很难超过 10 %以上，在臭氧用于饮用水处理的较长过程中，还没有一例氧爆炸的事例。
含量为 1 %以下的臭氧，在常温常态常压的空气中分解半衰期为20~30分钟左右。随着温度的升高，分解速度加快，温度超过 100℃ 时，分解非常剧烈，达到 270℃高温时，可立即转化为氧气。
臭氧在水中的分解速度比空气中快。在含有杂质的水溶液中臭氧迅速恢复到形成它的氧气。如水中臭氧浓度为 6.25×10 -5 mol/L（3mg/l） 时，其半衰期为 5 ～ 30min ，但在纯水中分解速度较慢，如在蒸馏水或自来水中的半衰期大约是 20min （ 20℃ ），然而在二次蒸馏水中，经过 85min后臭氧分解只有 10 %，若水温接近 0℃ 时，臭氧会变得更加稳定。
臭氧在冰中极为稳定，其半衰期为2000年。
家庭空气消毒：将臭氧发生装置移植于空调中，在空气出口处安装臭氧催化分解、吸附装置，这样既可以制冷制热，还可以利用室内循环风对空气进行消毒、净化，分解后的氧气和负离子可以使室内空气保持清新。
另外，空气消毒用臭氧发生器也可在宾馆、饭店、商场、剧院等公共空间使用 。
冰箱内部杀菌：实验表明，冰箱内部生存着大量的低温细菌，还有使人严重致病的李斯特菌，耶尔森菌，金黄色葡萄球菌等。
经随机抽样检测发现，普通冰箱内部每平方厘米有7850个细菌，比马桶里的细菌浓度还高。个别经常放置剩菜的冰箱，内部每平方厘米竟然达到129000个细菌。将臭氧发生装置放入冰箱，可以灭杀各种低温病菌。
杀灭物体表面和冰箱隔板表面的细菌，所需的臭氧浓度是空气中细菌灭杀浓度的数十倍 冰箱杀菌wokesmart冰箱宝能对不同细菌菌种分别对待 。
制药行业的GMP验证空气消毒 ：洁净生产区的中央空调净化系统、臭氧灭菌柜、其他没有中央空调系统的生产用空间灭菌，我国相当一批制药企业就是使用臭氧作为主要的消毒和空气灭菌手段，如沈阳济世制药有限公司、大连珍奥药业有限公司、上海庆安药业有限公司、吉林敖东药业集团延吉股份有限公司、福建兴安药业有限公司等，臭氧作为空气消毒的主要手段为这些企业的GMP验证作出了重要的贡献。
1.优于化学消毒方法：臭氧作为高效广谱无残留污染的气体消毒剂比食品行业常用的消毒剂具有特殊优越性。
与过氧乙酸、高锰酸钾、甲醛（福尔马林）、二氧化硫等化学消毒剂相比，其杀菌能力与过氧乙酸相当，高于其他消毒剂。
臭氧会自行分解为氧气，不产生残留污染，消毒后不需通风换气。常规消毒均需通风换气或化学中和，麻烦而又降低消毒效果。
臭氧可直接对食品使用作杀菌或防霉保鲜，为干法消毒，简单易行。臭氧杀菌浓度对食品是极微弱的氧化浓度，对食品无害。
2.优于紫外线照射
（1） 臭氧到处渗透，没有死角。
紫外线只有照射到物体表面且达到一定的照射强度标准才有杀菌效果。
食品车间一般比较高大，致使紫外线照射强度远远不够，特别是距离远，照射产生很大死角，如加工案板下部等。
臭氧为气体，渗透性强，扩散性好，浓度均匀，没有死角。
（2） 杀菌速度快。紫外线照射杀菌需要较长的作用时间，一般要照射6小时以上，而符合标准浓度的臭氧只需开机1小时以上。
（3） 高湿度下杀菌效果更好。
紫外线照射杀菌在环境相对湿度达到60%以上时，消毒效果急剧下降，湿度达到80%以上时反可诱使细菌复活。臭氧则相反，湿度越高，杀菌效果越好。这是由于高湿度下细胞膜膨胀变薄，其组织容易被臭氧破坏，这一特性对于食品行业中普遍存在的高湿环境特别适合。
（4） 有低浓度保洁功能。
紫外线照射时生产人员必须离开现场，照射完成后无法用低功率的紫外线照射保洁；臭氧消毒时生产人员必须离开现场，消毒完成后可以调低臭氧发生量，用符合国家卫生标准的低浓度臭氧继续保持生产车间的空气清洁。
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