主泵和前级泵的配合一般是真空机组。
前级泵可以理解为机械泵。本身可以使用，但抽气速率或者真空度满足不了使用要求，这种情况下我们加一个增压泵。
主泵可以理解为增压泵，用来提高机械泵的真空度跟抽气量。像罗茨泵，扩散泵，分子泵等。这些本身不能使用（压差太大）所以需要机械泵预抽，将真空室内抽成粗真空，然后主泵开始工作。
运行过程中主要的抽气量 极限真空度是靠主泵来实现。所以我们叫它为主泵，起主要作用的泵。
前级泵就是在主泵运行之前需要提前开的泵，就叫前级泵，主泵之前的泵。辅助主泵运行的泵。
不明白的话看签名继续问。
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标签：前级,主泵,真空泵
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